광학 등급 석영 단결정 웨이퍼
OST Photonics는 다양한 크기와 두께의 광학 등급 수정 단결정 웨이퍼를 공급하며, 웨이퍼 직경은 1인치에서 4인치까지 제공됩니다,...
광학 등급 석영 단결정 웨이퍼
OST Photonics는 다양한 크기와 두께의 광학 등급 수정 단결정 웨이퍼를 공급하며, 웨이퍼 직경은 1인치부터 4인치까지이고 두께는 요구사항에 따라 맞춤 제작이 가능합니다(일반적으로 0.05 mm 이상). 방위는 X/Y/Z 컷 등이 가능합니다. 또한 고품질 수정 블랭크(좌선성 수정 포함)도 공급 가능합니다.
- 제조사OST Photonics
- 분류결정 웨이퍼 및 기판
- 납기주문 건별 제시
- 맞춤 제작도면에 따른 치수, 결정 방위 및 표면 가공
광학 등급 수정 단결정 웨이퍼의 사양
| 소재 | 석영 결정 | |
| 절단 각도 | X/Y/Z-cut etc | |
| 직경 | 1”(25.4mm)~4”(100mm) | |
| 직경 공차 (±) | ≤0.20 mm | |
| 두께 | 0.05mm or more | |
| LTV (5mmx5mm) | <1µm | |
| TTV | <3µm | |
| 보우 | -30<bow<30 | |
| 휨(워프) | <40µm | |
| 표면 유형 | 단면 연마(SSP)/양면 연마(DSP) | |
| 연마면 Ra | <0.5nm | |
| 후면 기준 | 일반적으로 0.2-0.5µm 또는 주문 사양 | |
| Scratch/Dig | 40/20보다 우수 | |
| 에지 기준 | SEMI M1.2 규격 준수 / IEC62276 참조 | |
| 재료 특성 | ECD | 등급 4보다 우수 |
| 개재물 | 등급 I보다 우수 | |
| Q 값 | 등급 C보다 우수 | |
| 웨이퍼 표면 기준 | 입자 φ>0.3 µm | <= 30 |
| 스크래치, 치핑 | 없음 | |
| 결함 | 에지 균열, 스크래치, 톱자국, 얼룩 없음 | |
| 포장 | 수량/웨이퍼 박스 | 25pcs per box |
광학 등급 수정 단결정 블랭크의 파라미터
| 소재 | 등급 | 치수 | 개재물 | Q 값 | 광학 균질성 |
| 석영 | 광학 | Z: 135mmX: 150mmY: 240-280mm | IEC 등급 I | >2.40 million | 1*10^-5 |
| 석영 | 레이저 | Z<40mmX<110mmY< 200mm | IEC Claas IA보다 우수 | >2.40 million | 5*10^-6 |
광학 등급 석영 단결정 웨이퍼의 특성
| Density, g/cm3 | 2.65 |
| 융점, °C | 1467 |
| 열전도율, W/(m x K) (T = 25°C) | 10.7 (Z축에 평행) 6.2 (Z축에 수직) |
| 온도 범위 0-25°Ñ 에서의 선열팽창 계수, °C^-1 | 7.1 õ 10^-6 (Z축에 평행) |
| 13.2 õ 10^-6 (Z축에 수직) | |
| 경도 (Mohs) | 7 |
| 비열용량, J/(kg x K) (T = 25°C) | 710 |
| 30 MHz에서의 유전율 | 4.34 (Z축에 평행) 4.27 (Z축에 수직) |
| 영률 (E), GPa | 97.2 (Z축에 평행) 76.5 (Z축에 수직) |
| 전단 탄성계수(G), GPa | 31.14 |
| 체적 탄성률 (K), GPa | 36.4 |
| 화학적 안정성 | 물에 불용 |
| 탄성 계수 | C11=87 C12=7 C44=58 C13=13 C14=18 C33=106 |
합성 수정의 굴절률 대 파장
| l, mm | n0 | ne | l, mm | n0 | ne | l, mm | n0 | ne |
| 0.185 | 1.676 | 1.69 | 0.243 | 1.605 | 1.617 | 0.589 | 1.544 | 1.553 |
| 0.194 | 1.66 | 1.673 | 0.263 | 1.593 | 1.604 | 1.083 | 1.534 | 1.543 |
| 0.204 | 1.643 | 1.656 | 0.291 | 1.581 | 1.591 | 1.8 | 1.524 | 1.532 |
| 0.219 | 1.625 | 1.637 | 0.34 | 1.567 | 1.577 | 2.5 | 1.512 | 1.52 |
| 0.231 | 1.614 | 1.626 | 0.405 | 1.557 | 1.567 | 3 | 1.5 | 1.507 |
합성 석영 결정의 품질 평가
a) 합성 수정의 결정 결함 및 불순물의 양은 성장 속도, 광화제 및 원료에 따라 달라집니다. 성장 속도는 Q 값과 상관관계가 있는 적외선 흡수 계수 α 및 주파수-온도 특성 등 중요한 특성에 큰 영향을 미칩니다. 성장 속도가 커지면 α 가 증가하고 Q 값이 감소하며 주파수-온도 특성에 편차가 발생합니다.
b) 합성 수정의 품질 지표는 원래 Q 값이었으며, Q 값을 얻기 위해 5 차 오버톤 모드로 동작하는 5 MHz 수정 진동자가 사용되었습니다. 그러나 5 MHz 수정 진동자 제작에는 많은 수고가 필요했기 때문에 지표가 Q 값 대신 계수 α 로 변경되었습니다.
합성 석영 결정의 품질 평가
a) 쌍정: 사용 가능 영역에 전기적 또는 광학적 쌍정이 없어야 합니다.
b) 변형: 종결정의 내부와 표면 및 성장된 수정에 변형이 없어야 합니다.
c) 균열 및 파손: 사용 가능 영역에 균열, 깨짐 또는 파손이 없어야 합니다.
d) 개재물 밀도: 사양은 IEC 60758 에 따릅니다.
| 크기 범위 | cm^3당 수량 | |||
| 등급 (µm) | 10 to 30 | 30 to 70 | 70 to 100 | >100 |
| Ia | 2 | 1 | 0 | 0 |
| Ib | 3 | 2 | 1 | 1 |
| I | 6 | 4 | 2 | 2 |
| II | 9 | 5 | 4 | 3 |
| III | 12 | 8 | 6 | 4 |
e) 적외선 품질 표시: 사양은 IEC 60758 에 따릅니다.
| 등급 | Max. α3585 | 추정 Q 값 (x 10^6) |
| A | 0.015 | 3.8 |
| A | 0.024 | 3 |
| B | 0.05 | 2.4 |
| C | 0.069 | 1.8 |
| D | 0.1 | 1.4 |
f) 에치 채널 밀도: 사양은 IEC 60758 에 따릅니다.
| 등급 | cm^3당 최대 개수 |
| 1 | 10 |
| 2 | 30 |
| 3 | 100 |
| 4 | 300 |
| 5 | 600 |
황삭 가공 수정 결정(lumbered)의 사양
a) 각도:
i. Y 축을 중심으로 한 X 면의 회전각: 00°00’±15’
ii. Z 축을 중심으로 한 X 면의 회전각: 00°00’±15’
b) 치수 공차:
i. X 축 또는 Z 축 방향: ±0.1 mm
ii. Y 축 방향: ±10 mm
c) 표면 거칠기: 맞춤 제작에 따르며 래핑과 폴리싱 모두 가능합니다.
광학 등급 수정 단결정 웨이퍼 견적 요청
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