光学ガラスウェハ
OST Photonicsは、用途および材料要件に応じて各種の光学ガラスウェーハと合成石英ウェーハをご提供しています。ウェーハ径は3インチから12インチまで、厚さはご要望に応じてカスタマイズ可能です(通常0.1 mm以上)。幅広いガラス材料からお選びいただけます:合成石英材料:JGS1/JGS2/JGS3 SHOTTガラス:Borofloat33/D263Teco/B270...
- 製造元OST Photonics
- カテゴリー結晶ウェハおよび基板
- 納期ご注文ごとに提示
- カスタマイズ図面に基づくサイズ、結晶方位、表面仕上げ
OST Photonicsは、用途および材料要件に応じて各種の光学ガラスウェーハと合成石英ウェーハをご提供しています。ウェーハ径は3インチから12インチまで、厚さはご要望に応じてカスタマイズ可能です(通常0.1 mm以上)。幅広いガラス材料からお選びいただけます:
- 合成石英材料: JGS1/JGS2/JGS3
- SHOTTガラス:Borofloat33/D263Teco/B270(I)/D263(T)、結晶化ガラスなど。
- Corning ガラス: Corning 7980/7978/7979 および Eagle XG など
- Oharaガラス:SK-1300/SK-1310/SK-1320など。
- Feilihua: F-HUV1~7 など
- CDGM: H-K9L など
- その他のガラス材料:ソーダライムガラスなど。
光学ガラスウエハおよび合成石英ウエハの仕様
| 材料 | 合成石英材料: JGS1/JGS2/JGS3SHOTTガラス: Borofloat33/D263Teco/B270(I)/D263(T)、結晶化ガラスなどCorningガラス: Corning 7980/7978/7979、Eagle XGなどOharaガラス: SK-1300/SK-1310/SK-1320などFeilihua: F-HUV1~7などCDGM: H-K9Lなどその他のガラス材料: ソーダライムガラスなど | |||||
| 直径 | 3” (76.2mm) | 4” (100mm) | 6″ (150mm) | 8″ (200mm) | 10” (250mm) | 12” (300mm) |
| 直径公差 (±) | ≤0.20 mm | |||||
| 厚さ | ≥0.1mm | ≥0.1mm | ≥0.3mm | ≥0.4mm | ≥0.5mm | ≥0.5mm |
| 一次リファレンスフラット | 当社規格またはお客様のご要望に準拠 | |||||
| LTV (5mmx5mm) | < 0.5µm | |||||
| TTV | < 2µm | < 2µm | < 3µm | <3µm | <5µm | <5µm |
| ボウ | ±20µm | ±20µm | ±30µm | ±40µm | ±40µm | ±40µm |
| 反り(ワープ) | ≤ 30µm | ≤ 30µm | ≤ 40µm | ≤ 50µm | ≤ 50µm | ≤ 50µm |
| PLTV(5mm*5mm)<0.4um | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| エッジ基準 | SEMI M1.2規格に準拠/IEC62276に準拠 | |||||
| 表面タイプ | 片面研磨(SSP)/両面研磨(DSP) | |||||
| 研磨面 Ra | ≤0.5 nm | |||||
| 裏面基準 | 通常は0.2-0.7µm、またはご要望に応じて | |||||
| 梱包 | 25pcs per box |
光学ガラスウェーハの工程能力
| 寸法 | 5mm – 400mm |
| 厚さ | ≥0.05mm |
| 寸法公差 | ±25μm |
| 厚さ公差 | ±5μm |
| 厚さばらつき (TTV) | < 2μm |
| 平面度 | 1/10 Wave/Inch |
| 表面粗さ(RMS) | <5Ǻ |
| スクラッチ・ディグ(scratch and dig) | 10/5 |
| 粒径 | <10μm |
| ボウ/ワープ | <10μm |
光学ガラス ウェハーのお見積り依頼
寸法、結晶方位、表面仕上げ、数量をお送りください。エンジニアが技術提案と価格をご返信いたします。
よくあるご質問
バイヤーからのご質問
光学ガラスウェハーの直径公差は何ですか?
光学ガラスウェハーの直径公差は≤0.20 mm ±です。
光学ガラスウェーハの基準プライマリフラットは何ですか?
光学ガラスウェーハの基準プライマリフラットは当社規格またはお客様のご要望に準拠です。
光学ガラスウェーハのltv値はどれくらいですか?
光学ガラスウェーハのltvは< 0.5µm 5mmx5mmです。
光学ガラスウェハのエッジ基準は何ですか。
光学ガラスウェハのエッジ基準は SEMI M1.2 規格に準拠しています(IEC62276 参照)。
光学ガラスウエハの見積もりを取得するにはどうすればよいですか?
数量、仕様、仕向港を電子メールまたは電話でJiaxing AOSITE Photonics Technology Co.,Ltd.までお送りください。本サイトには問い合わせフォームがないため、お客様のご連絡は受付窓口を経由せず、直接エンジニアに届きます。
光学ガラスウェハはカスタム仕様で製作できますか?
特注寸法および表面仕上げは、お客様の図面または仕様書に基づき個別にお見積もりいたします。ご要望をお送りいただければ、ご発注前に工場が実現可能な範囲と公差を確認いたします。
光学ガラスウェハーは誰が製造していますか?
Jiaxing AOSITE Photonics Technology Co.,Ltd.は、OST Photonicsの名称で事業を行い、2010年より中国浙江省嘉興市で製造しています。
